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ナノインデンテーション 薄膜硬さ評価 本 おすすめ3選
この記事を書いている人（せせら）
普段は個人事業主のプログラマーとして仕事をしています。
個人で作業効率化サービスを運営し、挑戦を続ける人々を静かに応援しています。
薄膜の硬さ評価を学ぶ本を選ぶとき、測定法や知りたい内容に合う一冊をどう見つけるか迷いますよね。
ナノインデンテーションやAFMによる押込み、計装化押込み試験の規格や適用例など、掲載内容から学びたい範囲を確かめられます。
今回は、薄膜の硬さ評価を扱う3冊をご紹介します。
おすすめ商品の早見表
| 商品名 | 硬さ評価の掲載内容 |
|---|---|
| 2020版 薄膜作製応用ハンドブック | 「ヤング率と硬さ」の節で、ナノインデンテーション、AFMによるインデンテーション、レーザ励起表面弾性波法を扱う |
| 薄膜の機械的物性と不良対策・高品質化 | 薄膜の硬さ試験法やナノインデンテーションを扱い、複合硬度から膜硬さを分離する解析と実験例を掲載 |
| Hardness Testing: Principles and Applications | 計装化押込み試験について、接触力学、ISO 14577に基づく試験方法、試験技術と適用例を扱う |
2020版 薄膜作製応用ハンドブック
薄膜の硬さ評価をナノインデンテーションから学びたい人には、『2020版 薄膜作製応用ハンドブック』がおすすめです。ヤング率と硬さの節では、ナノインデンテーションに加えて、AFMによるインデンテーションやレーザ励起表面弾性波法も扱っています。薄膜の力学特性として、応力・ひずみの節も収録されています。
冊子版はB5判で、PDF版はCDまたはダウンロードで提供され、PDF版の取引は直取引のみとなっています。冊子で読みたいかPDF版を選びたいかに合わせて、購入形態を検討できます。
2020版 薄膜作製応用ハンドブック
薄膜の機械的物性と不良対策・高品質化
薄膜材料の硬さ試験法や、複合硬度から膜硬さを分ける解析を学びたい人には、本書がおすすめです。ナノインデンテーションによる硬さ測定とヤング率を扱い、膜硬さを分離する解析的な展開や実験例も紹介しています。
本書は絶版となっています。新刊での購入を考える場合は、絶版であることも購入判断のポイントになります。
薄膜の機械的物性と不良対策・高品質化
Hardness Testing: Principles and Applications
計装化押込み硬さ試験の方法や適用例を学びたい人には、『Hardness Testing: Principles and Applications』がおすすめです。第6章では接触力学の要素とISO 14577に基づく試験方法を扱い、200 nm未満の変位や最大30 kNまでの力を含む適用範囲にも触れています。
Hardness Testing: Principles and Applications
目的に合わせた選び方
- 薄膜の硬さ評価と応力・ひずみを学びたい人
- 複合硬度から膜硬さを分離する解析や実験例を読みたい人
- 計装化押込み試験のISO 14577に基づく方法や適用例を学びたい人
