カテゴリー: 半導体

DFTの基本からスキャン、BIST、テスト圧縮まで学べる専門書を紹介します。商用EDAツールの具体例や学習用リソースを含む本も取り上げます。

酸化物半導体やIGZOデバイスを学びたい人に、基礎物性や薄膜作製、ディスプレイ・LSIへの応用を扱う本を紹介します。

液晶TFTの製造工程や薄膜技術を学びたい人に向けて、TFTの原理・作製・評価や結晶化を扱う3冊を紹介します。

有機ELの蒸着プロセスを学びたい人へ、共蒸着や成膜装置、膜厚均一化などを扱う本を紹介します。

二次元半導体やMoS2デバイスを学びたい人に向けて、電子構造やトランジスタ応用などを扱う4冊を紹介します。

半導体材料・デバイスの評価手法を、電子線誘起電流法や故障解析とあわせて学びたい人に向けて、一冊を紹介します。

MEMSの深掘りエッチングやDRIEを学びたい人に、MEMSの製法や微細加工を扱う本を2冊紹介します。

フォトレジストの現像欠陥の発生メカニズムや抑制手法を調べたい人に、専門書「フォトレジスト材料開発の新展開」を紹介します。

ショットキーダイオードを含む半導体デバイスを学びたい人へ、接合や電流電圧特性を扱う本を紹介します。

シリコンウェハの熱酸化工程を学びたい人に、酸化機構や酸化膜の形成法を扱う本を紹介します。

半導体のエピタキシャル成長を学びたい人に向け、成長技術とその応用、式の導出、演習問題などを扱う書籍を紹介します。

EUV露光を幅広く学び、マスク検査にも触れたい人へ、英語書籍「EUV Lithography, Second Edition」を紹介します。