液晶TFT バックプレーン製造 本 おすすめ

液晶TFTのバックプレーン製造を学ぶ本は、薄膜全般を扱うものから特定のTFTに焦点を当てたものまであり、どれを選べばよいか迷いますよね。

製造工程や成膜、結晶化など、目次にあるテーマを手がかりに、調べたい内容に合わせて選べます。

今回は、TFTや薄膜技術を扱う3冊をまとめます。

おすすめ商品の早見表

商品名	扱うTFT・薄膜の範囲	発行時期	判型
薄膜作製応用ハンドブック（2020版）	薄膜全般、アモルファスSi TFT、低温多結晶Si TFTなど	2020年2月	B5（冊子版）
薄膜トランジスタ	非晶質・多結晶シリコン、酸化物、有機TFT	2008年11月	A5
低温ポリシリコン薄膜トランジスタの開発	低温ポリシリコン薄膜トランジスタ	2007年2月	B5

薄膜作製応用ハンドブック（2020版）

液晶TFTの製造工程を、薄膜の作製や評価とあわせて調べたい人には、薄膜作製応用ハンドブック（2020版）がおすすめです。目次にはアモルファスSi TFTの構造と製造工程があり、低温多結晶Si TFTではエキシマレーザアニールを含む結晶化プロセスも取り上げています。薄膜の作製・加工や、薄膜・表面・界面の分析・評価を扱う編もあり、TFTに関連する内容を薄膜技術の広い範囲とあわせて参照できます。

冊子版はB5判です。PDF版はCDまたはダウンロードでの提供で、直取引のみとなっています。

薄膜トランジスタ

TFTの動作原理から作製技術まで学びたい人には、「薄膜トランジスタ」がおすすめです。非晶質・多結晶シリコンのほか、酸化物や有機TFTの原理・作製・評価を中心に扱い、液晶ディスプレイへの応用も取り上げています。製造に関する目次には、水素化非晶質シリコンTFTのプラズマCVDや、多結晶シリコンTFTの膜形成・ゲート絶縁膜形成技術があります。大学の学生や、薄膜関連業務に新たに携わる研究者・技術者向けの解説書として企画された一冊です。

低温ポリシリコン薄膜トランジスタの開発

低温ポリシリコンTFTの製造技術を調べたい人には、「低温ポリシリコン薄膜トランジスタの開発」がおすすめです。目次には、poly-Si TFTのイオン注入やゲートSiO2膜の形成に加え、レーザー結晶化の章があります。TFT転写プロセスや評価・シミュレーションも扱っており、製造に関連する工程を幅広く参照できます。発行は2007年2月です。

目的に合わせた本の選び方

• 薄膜の作製や評価もあわせて調べたい人
  • 薄膜作製応用ハンドブック（2020版）
• TFTの原理から作製・評価まで学びたい人
  • 薄膜トランジスタ
• 低温多結晶シリコンTFTの結晶化を調べたい人
  • 薄膜作製応用ハンドブック（2020版）
  • 低温ポリシリコン薄膜トランジスタの開発

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