半導体 エピタキシャル成長 本 おすすめ

半導体のエピタキシャル成長を学ぶ本は、どの内容から選べばよいか迷いますよね。

成長技術とその応用を扱う本や、式の導出を掲載した本など、学びたい内容に合わせて選べます。

今回は、エピタキシャル成長や半導体結晶成長を扱う書籍を紹介します。

おすすめ商品の早見表

商品名	扱う主な内容	ページ数	参考価格
化合物半導体のエピタキシャル成長	LPE・MOVPE・MBEとその応用	232頁	4,694円（2026年10月28日時点）
エピタキシャル成長のフロンティア	—	—	4,620円（2026年10月28日時点）
半導体結晶成長	半導体の結晶成長と結晶の性質	280ページ	—
エピタキシャル成長のメカニズム	成長の熱力学・カイネティクス	200ページ	—
Epitaxy of Semiconductors	層成長の熱力学・速度論と成長技術	前付け20ページ、本文等535ページ	—

化合物半導体のエピタキシャル成長

化合物半導体の成長技術を、その応用とあわせて学びたい人におすすめです。液相エピタキシャル成長法（LPE）、有機金属気相エピタキシャル成長法（MOVPE）、分子線エピタキシャル成長法（MBE）をそれぞれ応用とともに扱っています。成長結晶の半導体レーザへの応用を取り上げた章もあります。さまざまなエピタキシャル成長技術を長年研究してきた著者の知見をまとめた一冊です。

エピタキシャル成長のフロンティア

「シリーズ：結晶成長のダイナミクス」の第4巻を探している人におすすめです。『エピタキシャル成長のフロンティア』は、2002年6月25日に発売された書籍です。

半導体結晶成長

半導体の結晶成長技術と、成長した結晶の性質をあわせて学びたい人におすすめです。Si-Ge系のCVDエピタキシーと原子層成長制御のほか、GaAsのMBE成長と表面構造も扱っています。

出版社の販売ページでは在庫僅少・美本なしと表示されており、カバーの設定がなく表紙は汚損状態とされています。

エピタキシャル成長のメカニズム

エピタキシャル成長の仕組みを、式の導出も含めて学びたい人におすすめです。成長の熱力学や結晶成長のカイネティクスに加え、基板の表面状態とエピタキシャル成長、ヘテロエピタキシャル成長を扱っています。

丸善ジュンク堂書店ネットストアでは、確認時点で売り切れと表示されています。

Epitaxy of Semiconductors

半導体ヘテロ構造の結晶成長を、演習問題にも取り組みながら学びたい人におすすめです。層成長の熱力学と速度論を扱い、有機金属気相・分子線・液相エピタキシーも解説しています。各章の後に演習問題があり、巻末には解答を収録しています。

英語の教科書で、大学院上級レベルの講義向けの情報を提供する一冊です。必要な固体物理学の知識は最小限とされており、電子書籍はEPUBとPDFで提供されています。

本の選び分け

• 成長技術とその応用を学びたい人
  • 化合物半導体のエピタキシャル成長
• 半導体の結晶成長と結晶の性質を学びたい人
  • 半導体結晶成長
• 式の導出を含めて成長の仕組みを学びたい人
  • エピタキシャル成長のメカニズム
• 演習問題に取り組みながら学びたい人
  • Epitaxy of Semiconductors
• 「結晶成長のダイナミクス」の第4巻を探している人
  • エピタキシャル成長のフロンティア

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