半導体 DFT スキャンテスト設計 本 おすすめ3選
MEMS 深掘りエッチング DRIE 本 おすすめ
この記事を書いている人（せせら）
普段は個人事業主のプログラマーとして仕事をしています。
個人で作業効率化サービスを運営し、挑戦を続ける人々を静かに応援しています。
MEMSの深掘りエッチングやDRIEを学ぶ本は、どれを選べばよいか迷いますよね。
Deep RIEを扱う章のほか、MEMSの製法や微細加工の基礎を学べる内容にも注目できます。
今回は、MEMSや微細加工を扱う2冊を紹介します。
おすすめ商品の早見表
| 商品名 | Deep RIEの掲載箇所 | 対象読者 | 演習問題数 |
|---|---|---|---|
 MEMSデバイス徹底入門 | 第3章 | MEMSの入門者 | — |
| Introduction to Microfabrication, 2nd Edition | 第21章 | 微細加工の基礎を学ぶ学部高学年生・大学院初学者 | 300問 |
MEMSデバイス徹底入門
MEMSの基礎から深掘りエッチングに触れたい人には、三田吉郎著の「MEMSデバイス徹底入門」がおすすめです。日本語の入門書で、第3章では実験用MEMSを通して構造と製法を扱い、フォトリソグラフィも取り上げています。パターンを転写してMEMSを形作るDeep RIEも同章の内容に含まれています。
MEMSデバイス徹底入門
Introduction to Microfabrication, 2nd Edition
微細加工の基礎とあわせてDRIEを学びたい人には、「Introduction to Microfabrication, 2nd Edition」がおすすめです。第21章でDeep Reactive Ion Etchingを扱い、第30章にはMEMSのプロセス統合を収録しています。学部高学年生や大学院初学者向けの教科書で、実務者の参考書としても紹介されています。
第2版ではMEMSやマイクロ流体に関連する製造上の課題についての記述が拡充されています。演習問題は300問あり、付随ウェブサイトには解答が掲載されています。
Introduction to Microfabrication, 2nd Edition
用途に合わせた選び方
- 日本語のMEMS入門書を探している人
- 演習問題にも取り組みたい人
