半導体 EBIC 故障解析 本 おすすめ

半導体のEBICや故障解析について学ぶ本を探すとき、どの分野を扱う一冊を選べばよいか迷いますよね。

目次に電子線誘起電流法と故障解析の項目がある本なら、それぞれの項目を探して読み進められます。

今回は、半導体材料・デバイスの評価手法を解説する一冊を紹介します。

おすすめ商品の早見表

商品名	目次の対象分野	判型	参考価格
半導体材料・デバイスの評価	電子線誘起電流法、信頼性と故障解析	A5判	27,500円（2026年10月28日時点）

半導体材料・デバイスの評価

半導体材料・デバイスの評価手法を、電子線誘起電流法や故障解析とあわせて学びたい人には、この本がおすすめです。目次には電子線誘起電流法が2か所にあり、「信頼性と故障解析」の章には故障時間と加速係数、故障解析評価技術の節が設けられています。

半導体材料・デバイスの研究開発に関わる試験、解析、評価の手法を解説した本で、原著第3版の翻訳です。半導体材料・デバイス分野の専門家や大学院生に向けた一冊として紹介されています。

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