エリプソメトリーによる薄膜光学定数解析におすすめの本4選

エリプソメトリーによる薄膜光学定数解析におすすめの本4選

オフ 投稿者: せせら編集部

この記事を書いている人(せせら)

普段は個人事業主のプログラマーとして仕事をしています。
個人で作業効率化サービスを運営し、挑戦を続ける人々を静かに応援しています。

薄膜の光学定数解析を学ぶ本は、基礎から解析事例まで扱う範囲が異なり、どれを選ぶか迷いますよね。

薄膜材料の界面特性や光学異方性膜の解析など、知りたい対象から選べる本もあります。

今回は、薄膜に関する掲載内容を手がかりに4冊をご紹介します。

おすすめ商品の早見表

商品名参考価格(取得日)薄膜関連の掲載内容
分光エリプソメトリー 第2版分光エリプソメトリー 第2版Amazon 6,380円(2026-11-03時点)—
Introduction to Spectroscopic Ellipsometry of Thin Film Materials: Instrumentation, Data Analysis and Applications—分光エリプソメトリーの基礎原理と、薄膜材料の界面特性・電子構造・準粒子特性の調査
光配向テクノロジーの開発動向—光学異方性膜の膜厚・光学定数解析。シリコン基板上のポリマー膜の解析例
Q&A付き 光学実務資料集 ~各種応用展開を見据えて~—分光エリプソメトリーなどを用いた光学特性評価方法

分光エリプソメトリー 第2版

分光エリプソメトリーをテーマにした本を探している人には、『分光エリプソメトリー 第2版』がおすすめです。

分光エリプソメトリー 第2版
分光エリプソメトリー 第2版

Introduction to Spectroscopic Ellipsometry of Thin Film Materials: Instrumentation, Data Analysis and Applications

異なる種類の薄膜材料を分光エリプソメトリーで調べる内容を学びたい人には、『Introduction to Spectroscopic Ellipsometry of Thin Film Materials』がおすすめです。基礎原理に加え、薄膜材料の界面特性、電子構造、準粒子特性を調べる実用的な活用方法も扱っています。

Introduction to Spectroscopic Ellipsometry of Thin Film Materials: Instrumentation, Data Analysis and Applications

光配向テクノロジーの開発動向

光学異方性膜の膜厚や光学定数の解析を学びたい人には、『光配向テクノロジーの開発動向』がおすすめです。目次には光学異方性膜の膜厚・光学定数解析の章があり、シリコン基板上のポリマー膜を扱う解析例も掲載されています。

光配向テクノロジーの開発動向

Q&A付き 光学実務資料集 ~各種応用展開を見据えて~

分光エリプソメトリーを使った光学特性の評価方法を知りたい人には、『Q&A付き 光学実務資料集 ~各種応用展開を見据えて~』がおすすめです。内容紹介では、分光エリプソメトリーや各種顕微鏡を用いた光学特性の評価方法を扱っており、書名にもQ&A付きとあります。

Q&A付き 光学実務資料集 ~各種応用展開を見据えて~

読みたい内容から選ぶ

このサイトはアフィリエイト広告(Amazonアソシエイト含む)を掲載しています。